Schematischer Aufbau der Filtration von Chemieprodukten in VLSI-Qualität:

VLSI-Qualität (very large scale integration) wird definiert durch Metallionenkonzentration je Fremdelement im Bereich 10-50 ppb (parts per billion, 10-9 )
und Partikelkonzentration < 250 / ml

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