VLSI-Qualität (very large scale integration) wird definiert durch
Metallionenkonzentration je Fremdelement im Bereich 10-50 ppb (parts per billion, 10-9 )
und Partikelkonzentration < 250 / ml

Schematischer Aufbau der Filtration von Chemieprodukten in VLSI-Qualität:

image/svg+xml Chemieprodukte in VLSI-Qualität Flaschen/Fässer Reaktor Misch-tank Großlieferung PF PG GR-QMA oder oder GR34-T GR25-E
Falls sie noch Fragen haben, können sie sich jederzeit an uns wenden.

 
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